光学计量

工艺和设备,缺一不可

语荻光电目前拥有多个薄膜镀膜室,装配了钟罩式热蒸发器、电子束箱镀膜机, Tecport电子束蒸发器和 德国莱宝IBS 镀膜机,可以提供多种镀膜工艺的加工,包括先进的电子束蒸发,离子束溅射,离子辅助沉积,和先进等离子溅射工艺,满足不同类型的应用需求。结合多个可互换的行星转盘,Precision Optical 目前能够对小至 10 毫米(直径)、大至1200毫米(直径)的基材进行镀膜。预计到2024年夏天,随着语荻杭州生产基地的正式投产,我们的镀膜直径将达 2000 毫米的范围。

光学镀膜是指在光学零件表面镀一层或多层金属或介电薄膜的过程。光学零件表面涂覆的目的是减少或增加对光的分离、反射、光束分离、过滤、截止、偏振等要求。如果设计和制造得当,这些涂层可以显着改变光学元件的反射和透射特性。通常,想要实现的涂层类型已经决定使用哪种镀膜工艺。

ZYGO干涉仪

使用 ZYGO HD 系列干涉仪来检测最小的扰动,无论是平面度、表面形状、角度、粗糙度还是波纹度, 我们都能可靠地检测 10 nm 至 100 nm 纳米范围内的形状偏差。

白光干涉仪

表面粗糙度、涂膜厚度和折射率是精密光学元件的关键参数。为了确保这些参数的准确性,我们采用最先进的白光干涉仪和先进的算法来迎接这些挑战。在我们的帮助下,您可以放心,您的光学元件将经过最高精度的检查,以确保其符合行业的最高标准。

垂直扫描范围:150μm

垂直分辨率:<0.1毫米

扫描范围扩展至20mm

横向分辨率:0.36 至 9.50 μm

RMS 重复性: < 0.01 nm

扫描放大倍数:10x、50x、100x

蔡司三坐标

借助蔡司CMM,我们可以以三维坐标的方式全面测量光学元件的各个方面,比如线性尺寸,包括长度、宽度和高度,从而确保零件的整体尺寸符合设计要求。同时还能准确地测量零件的轮廓和曲面,确保其符合设计的复杂几何形状。因此在许多精密制造和质量控制的应用中都非常有用。然而,在一些情况下,其他测量设备可能需要与CMM结合使用,以满足特定测量任务的需求。

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标准环境测试

我们的优质光学元件能够承受国防和工业应用中最严酷的环境,所有测试都在 ISO 规范下进行。

静态湿度测试

标准测试通常在 49°C、98% 相对湿度下进行 24 小时以上。

盐溶液测试

标准测试通常会持续 24 小时以上。根据客户要求,最长可延长 7 天。

磨损测试

在高温和低温之间循环,通常在 -62°C 和 + 71°C 之间循环,每次 5 小时。

温度测试

标准测试范围从使用粗棉布的中度磨损到在已知压力下使用橡皮擦的严重磨损。

盐雾(雾)测试

通常在 47°C 下进行 24 小时以上。

附着力测试

使用胶带按照已知规格进行的标准测试。

更多检测设备

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Luphoscan

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