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什么是衍射光学元件?
衍射光学元件(Diffractive Optical Element,DOE)是近几年蓬勃发展的新兴光学元件。DOE通常采用微纳刻蚀工艺构成二维分布的衍射单元,每个衍射单元可以有特定的形貌、折射率等,对激光波前位相分布进行精细调控。激光经过每个衍射单元后发生衍射,并在一定距离(通常为无穷远或透镜焦平面)处产生干涉,形成特定的光强分布。
更高效率
精确设计的衍射单元结构可以确保接近100%的激光能量被投射到所需要的图样上,效率大大高于掩膜等手段。
方便易用
衍射光学元件具备非常小的体积和重量,插入光路中即可使用;大多数情况下可配合标准的透镜、场镜、显微物镜等使用。
灵活适配
DOE应用的光路结构非常简单,可根据不同目标光强/位相分布进行定制,在使用中搭配不同的透镜,实现不同几何尺寸的光斑。